반도체 소자 분석 기술 "XPS, XRD, XRR, SR : 원리 및 특징"
반도체는 집적 기술 이외에도 소자를 분석하는 기술이 매우 중요합니다. 일반적으로 소자의 특성을 이해하고 품질을 향상시키기 위해 분석을 진행합니다. 반도체가 더욱 발전하기 위해서는 시료의 성분 분석, 표면 분석, 결정성 등을 파악하는 것이 매우 중요합니다. 이를 통해 설계, 공정, 품질 개선이 가능합니다. 이번 글에서는 미세 반도체 소자의 시료 성분 분석에 필요한 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscope), XRD(X-ray Diffraction), XRR(X-ray Reflectometer), SR(Spectroscopic Reflectometer)에 대해 상세히 알아보겠습니다. XPS 원리 및 특징XPS는 시료 표면에 특성 X-Ray를 조사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 통..
2024. 6. 11.
