반도체 소자 분석 기술 "XPS, XRD, XRR, SR : 원리 및 특징"
반도체는 집적 기술 이외에도 소자를 분석하는 기술이 매우 중요합니다. 일반적으로 소자의 특성을 이해하고 품질을 향상시키기 위해 분석을 진행합니다. 반도체가 더욱 발전하기 위해서는 시료의 성분 분석, 표면 분석, 결정성 등을 파악하는 것이 매우 중요합니다. 이를 통해 설계, 공정, 품질 개선이 가능합니다. 이번 글에서는 미세 반도체 소자의 시료 성분 분석에 필요한 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscope), XRD(X-ray Diffraction), XRR(X-ray Reflectometer), SR(Spectroscopic Reflectometer)에 대해 상세히 알아보겠습니다. XPS 원리 및 특징XPS는 시료 표면에 특성 X-Ray를 조사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 통..
2024. 6. 11.
비 전공자도 쉽게 이해할 수 있는 반도체 분석 기술 "SEM, TEM, XPS, XRD, SIMS, TOF-SIMS"
반도체 제조를 위해서는 끊임없는 시도와 이에 따른 결과 측정이 반복됩니다. 새로운 소재, 공정이 도입됨에 따라 정밀한 분석이 더욱 중요해지고 있습니다. 이번 피드에서는 반도체 산업에서 사용되는 분석 장치(SEM, TEM, XPS, XRD, SIMS, TOF-SIMS)에 대해 알아보겠습니다.SEM(Scanning Electron Microscope) : 주사전자현미경SEM은 고해상도로 시료의 표면 분석, 단면, 두께, 미세 부위 등을 할 수 있는 분석 장비 중 하나입니다. 분석을 통해 물질의 특성을 파악할 수 있으며, 공정의 안정성 및 결함을 판단할 수 있습니다. SEM은 시료 표면에 고속, 고에너지의 전자빔을 이용하여 전자를 충돌시키고, 시료와 충돌된 물질들이 방출되는데 이를 분석하는 장비입니다. SEM..
2024. 1. 31.
