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SEM 분석 & TEM 분석 : 원리와 특징, 그리고 분석 결과 및 해석 반도체 관련 공부를 하셨다면, SEM, TEM 분석에 관해 많이 들어보셨을 거예요. 앞선 피드에서 간략하게 SEM, TEM 등 여러 분석 기술에 대해서 다뤘습니다. 제 피드를 방문해 주시는 분들께서 SEM, TEM 분석에 좀 더 자세한 내용을 다루기를 원하셔서 이번 피드에서 다뤄보도록 하겠습니다.1. SEM(주사전자현미경)1.1 원리 및 특징  주사전자현미경(SEM)은 전자기 렌즈의 작용으로 작게 조여진 전자빔(전자 probe)을 시료 표면에 조사하여 방출되는 2차 전자 및 반사전자(BSE)의 신호를 수집하여 영상을 출력하는 원리를 사용합니다. BSE의 산란 각도는 시편의 핵이 갖는 원자번호에 의해 좌우되기 때문에 시료 표면의 화학 조성에 따른 정보를 얻을 수 있습니다. 또한, SEM에 별도 옵션인 ED.. 2024. 6. 24.
비 전공자도 쉽게 이해할 수 있는 반도체 분석 기술 "SEM, TEM, XPS, XRD, SIMS, TOF-SIMS" 반도체 제조를 위해서는 끊임없는 시도와 이에 따른 결과 측정이 반복됩니다. 새로운 소재, 공정이 도입됨에 따라 정밀한 분석이 더욱 중요해지고 있습니다. 이번 피드에서는 반도체 산업에서 사용되는 분석 장치(SEM, TEM, XPS, XRD, SIMS, TOF-SIMS)에 대해 알아보겠습니다.SEM(Scanning Electron Microscope) : 주사전자현미경SEM은 고해상도로 시료의 표면 분석, 단면, 두께, 미세 부위 등을 할 수 있는 분석 장비 중 하나입니다. 분석을 통해 물질의 특성을 파악할 수 있으며, 공정의 안정성 및 결함을 판단할 수 있습니다. SEM은 시료 표면에 고속, 고에너지의 전자빔을 이용하여 전자를 충돌시키고, 시료와 충돌된 물질들이 방출되는데 이를 분석하는 장비입니다. SEM.. 2024. 1. 31.
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