"Reflectometer, Ellipsometer : 원리 및 특징" 한 번에 정리 끝 Reflectometer, Ellipsometer의 원리와 특징을 아시나요? Reflectometer, Ellipsometer의 원리와 특징을 간략하게 알아보고 해석 결과에 대한 데이터를 확인해 보겠습니다. 또한, Reflectometer와 Ellipsometer의 특징을 비교하여 차이점을 알아보도록 할게요!Reflectometer 원리 및 특징Reflectometer는 시료 표면에 입사광을 수평에 가깝게 입사시켜 입사 각도에 따른 빛 반사율의 의존성을 조사하는 원리입니다. 특징은 다음과 같습니다. 1) 박막 구조 변수 검출: 박막의 두께, 밀도, 표면 및 계면의 거칠기(Roughness) 등을 검출할 수 있으며, 각 필름에 대해 분석 모델링한 후 측정값과 비교 및 대조하여 분석값을 결정할 수 있습니다... 2024. 6. 12. Prev Next
