비 전공자도 쉽게 이해할 수 있는 반도체 산화 공정(Oxidation Process) 여러분 산화 공정에 대해 알고 계신가요? 궁금하시죠? 이번 피드에서는 산화 공정이 무엇인지, 산화 공정의 장점 및 단점, 그리고 단점을 개선하기 위한 노력을 알아보겠습니다.산화 공정(Oxidation Process)이란?산화공정에 대해 알아보도록 하겠습니다. 산화공정이란 무엇일까요? 산화공정이란 반도체 공정 체임버 안에서 웨이퍼의 표면에 산소를 주입하여 산화막을 형성하는 공정을 말합니다. 이러한 과정은 반도체 소자 간의 절연층을 만들어 서로 분리하게 시키는 역할을 하며, 특정 소자의 동작 특성을 개선하는 데 주로 사용합니다. 산화 공정은 산소를 이용하여 진행되고, 산화 막질은 실리콘 웨이퍼 위에 형성되기 떄문에 이산화규소(SiO2)의 형태로 존재하게 됩니다. 반도체에서는 산화막과 같은 절연층의 존재가 굉.. 2024. 1. 24. Prev Next
