비 전공자도 이해할 수 있는 반도체 세정 공정(Cleaning Process) 세정의 정의 및 습식 세정 공정(Wet Cleaning), 건식 세정 공정(Dry Cleaning) 네이버 지식 백과에 따르면 세정이란 표면을 유지하기 위한 불순물을 제거하는 것, 오염을 제거하기 위해 씻어내는 것, 물로 깨끗이 잡티 등을 씻어내는 것을 말합니다. 세정 공정은 고성능, 고품질의 반도체 소자를 만들기 위해서 필수적인 요소로 작용합니다. 소자에 파티클이 있으면 전자의 이동을 방해하여 소자의 동작을 저해하기 때문에, 세정 공정은 필수적입니다. 세정 공정의 메커니즘은 식각 공정과 비슷하다고 할 수 있다. Plasma를 이용하여 원하는 물질만 제거하는 건식 식각, 화학 약품을 이용하여 원하는 물질을 제거하는 습식 식각과 같이 세정 공정도 마찬가지로 습식 세정 공정, 건식 세정 공정이 있고, 동.. 2024. 2. 6. Prev Next
