비 전공자도 쉽게 이해할 수 있는 반도체 노광 공정(Photo Lithography Process) 노광 공정(Photo Lithography Process)이란?노광 공정이란 무엇일까요? 노광 공정이란 반도체 8대 공정 과정에서 가장 중요한 핵심이 되는 공정 중 하나로써 점점 미세해지는 패턴을 웨이퍼에 새기는 핵심 단계를 말합니다. 마치 사진을 찍는 것과 동일하기 때문에 사진 공정이라고도 불립니다. 현재 노광 공정은 나날이 줄어드는 반도체 소자의 크기와 더 높은 집적도를 가능하게 하는 데 기반이 되는 중추 역할을 합니다. 노광 공정은 시간이 지남에 따라 계속 발전해 왔습니다. 1세대 노광 공정부터 ArF 노광 공정을 거쳐, 극자외선(Extreme ultraviolet) 개발에 이르기까지 많은 연구를 해왔습니다. 이는 반도체 소자가 미세화됨에 따라 마스크의 크기를 줄여야 했고, 더 짧은 빛의 파장을 이.. 2024. 1. 24. Prev Next
